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真空系统检漏时,除临时应急维修用真空泥糊堵外,有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏,如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处,观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板,分段封堵真空管路,进行检漏。找到漏点以后进行维修(一般密封圈老化比较多),定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油,如发现油遇水乳化,真空下跌,必须更换上面4个泵油,应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
除了做试验外,不要停留在真空炉管区。试验作业结束时,若无人持续运用,请关特别气体,保留N2活动,并检查是不是有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它,请顺手关掉。定做碳纤维保温材料处理HF时,请戴手套,如不当心碰到HF时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。石英玻璃制品请当心运用,避免破裂,导致严峻割伤。避免吸入从真空炉炉子或处理槽所冒出之各种气体。氰化钾(KCN)不行与酸类混置,因两者可发生剧毒之KCN气体。碳纤维保温材料一旦发现有阻碍安全之事物时,请当即告诉有关人员(技术员等)。请节约纯水用量。破晶片、滤纸、棉花棒,请勿掉入清洁槽的底部排水孔,避免因排水不良造成地板渍水。长短推杆之前端,在还没运用到时,请朝上避免污染。
增强复合硬毡、石墨硬毡(通用叫法也有叫碳纤维复合硬毡、固化毡等)是一种采用特殊工艺将石墨纸、聚丙烯腈基碳毡、聚丙烯腈基碳布全为一体,经固化成型后,一次、二次高温处理制得,它的抗烧蚀性能、抗热震性能、耐气流冲刷和隔热保温性能都很优越。具有传统保温材料所不具有的刚性、自支撑性、高强度、无短纤脱落、热导系数低等优点,主要用于真空、及各类冶金工业炉(单晶生长炉、多晶铸造炉、多晶还原炉、多晶铸锭炉、高压气淬炉、热等静压炉、热平衡炉、低压烧结炉、加压真空烧结炉等, 广泛应用于国防、冶金、化工等行业。尤其是随着多晶硅、单晶硅产业的高速发展,作为高温炉热场隔热理想材料,优质硬质碳纤维毡的需求更是达到了前所未有的高度 。
碳纤维硬毡保温材料具有优异的保温性能且使用寿命长,尤其在高温下,在真空或者惰性气体中使用时,耐热温度可达2400℃。此外,产品具有自重轻,低热膨胀系数,低吸热性,低放气量等特性,在高端设备领域正在被越来越广泛的使用。应用领域:工业真空炉、高纯硅氢化炉、蓝宝石、光纤的结晶炉、单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉。